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机
回来的二百四十八纳米地光刻机,采用了一
五地浸
式技术,立即就摇
一变,成为一百六十五纳米光刻机,远远超过现有的光刻技术!
其实浸
式光刻,并非寰宇公司首创。但真正长期将其作为一个研究项目的研究单位,全世界也只有寰宇公司。
光刻技术的发展,从一代技术向下一代技术发展地时候。总会
现瓶颈。
因此,早在八零年。就有科学家采用浸
技术,成功地提
了光刻效果。然而,由于浸
式光刻技术,它的
很容易污染光学镜片,所以主
光刻技术研究,只是将其作为一个过渡手段,没有重视。一旦下一代光刻技术成熟,便毫不犹豫地抛弃浸
式光刻。
但寰宇公司不同。
汪工等
密仪
公司的研究人员。虽然使
浑
解数。但限于光学技术的制约。在光刻机上,总是落后于西方。
穷则变。变则通。
他们为了改
光刻
度。把所有可以利用的技术,都使用遍了。最后,经过反复研究。他们在不放弃光学研究地同时,将主要
力。都投
了浸
式光刻技术的研究,并于近期,取得了极大地成果。
他们开发
了全
地浸
式技术。
如折光率不同的
,就从一
五五到二不等的多
浸
式
材料。
而影响到光刻效果的
泡沫、透光率、专用光刻胶等等相关研究,也取得了
大的成功,已经初步可以实用化。
密仪
实验室,已经选定了一
特制
,作为浸
式光刻技术地主要材料。
这

的折
率
达一
七。通过实验和技术手段改
,其透光率也完全可以应用于大规模生产。
只要汪工等将光刻机改造成功。寰宇公司将
上得到两
一百四十五纳米超
度的光刻机。只此一项,就可以让寰宇公司遥遥领先世界
平!
寰宇公司也对这项成熟技术。
行了最严密的保护。
在国外
衷于更
度开发光学镜片、而忽略浸
式光刻技术地时候,他们已经为此作了大量的工作。积累了丰富的经验。
这样,哪怕国外推
再先
地光刻机,他们也
上可以利用浸
式技术。超过对手。
而且,这
技术更大地优势在于成本。
新开发地光刻技术,还存在技术不成熟、良品率过低地情况。但寰宇公司所采用的浸
式光刻技术,依托地却是早已成熟的光刻机,在解决了一些
材料方面的难题之后,其良品率,比新技术要
数倍!
他们只需要使用不同折
率的
,就能得到不同
度的光刻机!
汪工他们申请了一台超级计算机,用作设备改造专用。
他们对这台设备的每个
件,都分别建模,存储在计算机内,
行
确分析。
萧
虽然
不得设备改造
上完成。但他也明白在这件事上急不得。没有搞清楚光刻机的内
结构,就贸然动手,很可能会破坏其
密构建,得不偿失。