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第306章(3/3)

回来的二百四十八纳米地光刻机,采用了一五地浸式技术,立即就摇一变,成为一百六十五纳米光刻机,远远超过现有的光刻技术!

其实浸式光刻,并非寰宇公司首创。但真正长期将其作为一个研究项目的研究单位,全世界也只有寰宇公司。

光刻技术的发展,从一代技术向下一代技术发展地时候。总会现瓶颈。

因此,早在八零年。就有科学家采用浸技术,成功地提了光刻效果。然而,由于浸式光刻技术,它的很容易污染光学镜片,所以主光刻技术研究,只是将其作为一个过渡手段,没有重视。一旦下一代光刻技术成熟,便毫不犹豫地抛弃浸式光刻。

但寰宇公司不同。

汪工等密仪公司的研究人员。虽然使解数。但限于光学技术的制约。在光刻机上,总是落后于西方。

穷则变。变则通。

他们为了改光刻度。把所有可以利用的技术,都使用遍了。最后,经过反复研究。他们在不放弃光学研究地同时,将主要力。都投了浸式光刻技术的研究,并于近期,取得了极大地成果。

他们开发了全地浸式技术。

如折光率不同的,就从一五五到二不等的多材料。

而影响到光刻效果的泡沫、透光率、专用光刻胶等等相关研究,也取得了大的成功,已经初步可以实用化。

密仪实验室,已经选定了一特制,作为浸式光刻技术地主要材料。

的折达一七。通过实验和技术手段改,其透光率也完全可以应用于大规模生产。

只要汪工等将光刻机改造成功。寰宇公司将上得到两一百四十五纳米超度的光刻机。只此一项,就可以让寰宇公司遥遥领先世界平!

寰宇公司也对这项成熟技术。行了最严密的保护。

在国外衷于更度开发光学镜片、而忽略浸式光刻技术地时候,他们已经为此作了大量的工作。积累了丰富的经验。

这样,哪怕国外推再先地光刻机,他们也上可以利用浸式技术。超过对手。

而且,这技术更大地优势在于成本。

新开发地光刻技术,还存在技术不成熟、良品率过低地情况。但寰宇公司所采用的浸式光刻技术,依托地却是早已成熟的光刻机,在解决了一些材料方面的难题之后,其良品率,比新技术要数倍!

他们只需要使用不同折率的,就能得到不同度的光刻机!

汪工他们申请了一台超级计算机,用作设备改造专用。

他们对这台设备的每个件,都分别建模,存储在计算机内,确分析。

虽然不得设备改造上完成。但他也明白在这件事上急不得。没有搞清楚光刻机的内结构,就贸然动手,很可能会破坏其密构建,得不偿失。

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